半导体废气处理方案-源和环保

作者：源和环保发布时间：2021-05-26 13:58:21

一、半导体废气处理成分。
半导体工业废气主要分为有机废气和酸碱废气。有机成分:非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等。酸碱废气成分:氨、硫酸雾、氟、氯、氯等。
二、半导体废气处理方法。

一般半导体废气处理的解决方案如下:
(1)预处理阶段:采用洗涤塔预处理废弃物，去除粉尘和易溶于水的有害气体。
(2)主要处理阶段:在这个阶段，UV光解、生物过滤分解、焚烧、催化燃烧是常见有效的方法。
由于每个企业产生的废气成分、风量小、废气浓度不同，采用的方法也不同，或者需要多种方法组合使用，具体的处理方案可以咨询我们。我们由工程师一对一定制废气处理方案。
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