解决方案
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行业废气成分
半导体行业废气主要成分差异明显，主要分为有机废气和酸碱废气两类：
- 1、有机类成分：包含非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等。
- 2、酸碱类成分：包含氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。
行业排放标准
我国的半导体行业市场集中度较高，主要集中在长江三角洲、珠江三角洲、环渤海以及中西部区域。产业的相对集中有利于环保治理的开展。随着国家对环保的重视，国家和地方相继发布了半导体行业废气排放标准。
表1 大气污染物排放限值
| 序号 | 污染物 |
最高允许排放浓度 (mg/m³) |
最高允许排放速率 | |
|---|---|---|---|---|
| 排气筒高度(m) | 排放速率(kg/h) | |||
| 1 | 硫酸雾 | 10 | 15 | 1.5 |
| 20 | 2.6 | |||
| 30 | 8.8 | |||
| 2 | 氯化氢 | 15 | 15 | 0.26 |
| 20 | 0.43 | |||
| 30 | 1.4 | |||
| 3 | 氟化氢 | 1.5 | 15 | 0.1 |
| 20 | 0.17 | |||
| 30 | 0.59 | |||
| 4 | 氨 | - | 15 | 4.9 |
| 20 | 8.7 | |||
| 30 | 20 | |||
| 5 | 挥发性有机物(VOCs) | 100 | - | - |
表2 挥发性有机物(VOCs)处理设施的最低处理效率
| 适用范围 | 处理设施的最低处理效率 |
|---|---|
| 挥发性有机物(VOCs)排放速率>0.6kg/h | 88% |
方案设计原则
合规达标
符合国家、地方的法律、法规以及业主的要求。采用的工艺具有可靠性、成熟性、运行稳定、运行成本低、管理维护简单、自动化程度高等特性，保证处理后的废气达到环保局要求的排放标准。
品质保障
设备、器材及电气部分采用的是名牌厂家产品，质量可靠。
智能自动化
采用切实可行的技术手段，提高装备水平，使废气处理系统的生产尽可能实现自动化操作，以减少运行人员，降低劳动强度。
绿色环保
不对环境产生二次污染。
废气处理方法
一般半导体行业针对废气处理的解决方案如下：
(1)预处理阶段：采用喷淋塔先对废进行预处理，去除粉尘以及易溶于水的有害气体。
(2)主要处理阶段：在此阶段，比较常见而有效方法有：UV光解，生物过滤分解，焚烧和催化燃烧等。
由于每家企业具体产生的废气成分、风量大小、废气浓度不同，所以采用的方法也会不同或者需要多种方法结合使用，具体处理方案可以咨询我们，我们将有工程师一对一为您定制废气处理方案。
质量售后服务
1、质量保证
- 严格遵守国家相关技术政策和产品安全规定进行工艺设计和设备安装。
- 严格执行《工程质量管理制度》组织施工。
- 该工程的施工、安装、调试实行项目负责制。
- 强化操作管理人员培训，确保处理系统长期稳定运行达标。
2、售后服务
废气处理工程调试完成，交付给业主使用后，为保证废气处理的长期稳定地运行，我司做出如下承诺：
- 处理设施站投产运行后，我司将定期到厂进行技术回访，了解运行过程中存在的问题，以便及时解决。
- 为确保系统正常运行，我司实行24小时跟踪服务，一旦接到报障电话，保证及时与业主方取得联系，采取各种途径解决问题，包括赶到现场对系统、设备进行检测、维修等。
- 工程及设备保修一年，同时为用户提供对本工程相关问题的免费咨询和终身优惠维修服务，保证出水达设计排放标准。
- 一年设备保质期内，对本工程出现故障的设备和配件及时进行维修或更换。
- 超过保质期需要维修时，我司将及时派人员维修，只收维修成本费。
- 对我司承建的工程实行终身负责制。
